RF MEMS switches and integrated switching circuits :

Liu, Ai-Qun.

RF MEMS switches and integrated switching circuits : design, fabrication and test / Ai Qun Liu ; chapter co-authors, Aibin Yu ... [et al.]. - New York : Springer, c2010. - x, 269 p. : ill. ; 24 cm. - MEMS reference shelf .

Includes bibliographical references and index.

0387462619 (alk. paper) 9780387462615 (alk. paper) 9780387462622 (eISBN)


Radio frequency microelectromechanical systems.
Switching circuits.
Integrated circuits.

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