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	1.	Advanced RF MEMS / Stepan Lucyszyn. por Lucyszyn, S. (Stepan) Series The Cambridge RF and microwave engineering series Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Idioma: Inglés Detalles de publicación: New York : Cambridge University Press, c2010 Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Biblioteca Yachay Tech (3)Signatura topográfica: 621.381 A2443 2010, ... Hacer reserva Agregar al carrito (remover)
	2.	Fundamentals of microfabrication and nanotechnology : Marc J. Madou. Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology / por Madou, Marc J Edición: Third edition Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Idioma: Inglés Detalles de publicación: Boca Raton : CRC Press, c2012 Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Biblioteca Yachay Tech (9)Signatura topográfica: 621 M1832f 2012, ... Hacer reserva Agregar al carrito (remover)
	3.	Mems vibratory gyroscopes : structural approaches to improve robustness / Cenk Acar, Andrei M. Shkel. por Acar, Cenk Shkel, Andrei Series MEMS reference shelf Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Detalles de publicación: New York : Springer, 2008 Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Biblioteca Yachay Tech (3)Signatura topográfica: 681.753 A1689m 2009, ... Hacer reserva Agregar al carrito (remover)
	4.	Microfluidic technologies for miniaturized analysis systems / Steffen Hardt, Friedhelm Schönfeld, editors. por Hardt, Steffen, 1966- Schönfeld, Friedhelm Series MEMS reference shelf Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Idioma: Inglés Detalles de publicación: New York, NY : Springer, c2007 Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Biblioteca Yachay Tech (3)Signatura topográfica: 620.106 M6265 2007, ... Hacer reserva Agregar al carrito (remover)
	5.	Silicon carbide microsystems for harsh environments / Muthu B.J. Wijesundara, Robert G. Azevedo. por Wijesundara, Muthu B. J Azevedo, Robert G Series MEMS reference shelf Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Idioma: Inglés Detalles de publicación: New York : Springer, c2011 Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Biblioteca Yachay Tech (3)Signatura topográfica: 621.381 W662s 2011, ... Hacer reserva Agregar al carrito (remover)
	6.	Biomaterials for MEMS / M. Chiao, Jung-Chih Chiao, editors por Chiao, Jung-Chih [ed.] Chiao, M Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Idioma: Inglés Detalles de publicación: Singapore : Pan Stanford Publishing, c2011 Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Biblioteca Yachay Tech (1)Signatura topográfica: 621.381 C5325b 2011. Hacer reserva Agregar al carrito (remover)
	7.	MEMS reliability / Allyson L. Hartzell, Mark G. da Silva, Herbert R. Shea ; Foreword by Stephen D. Senturia. por Hartzell, Allyson L Da Silva, Mark G Shea, Herbert R Series MEMS reference shelf Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Detalles de publicación: New York : Springer, c2011 Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Biblioteca Yachay Tech (3)Signatura topográfica: 621.381 H338m 2011, ... Hacer reserva Agregar al carrito (remover)
	8.	RF MEMS switches and integrated switching circuits : design, fabrication and test / Ai Qun Liu ; chapter co-authors, Aibin Yu ... [et al.]. por Liu, Ai-Qun Yu, Aibin Series MEMS reference shelf Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Detalles de publicación: New York : Springer, c2010 Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Biblioteca Yachay Tech (3)Signatura topográfica: 621.381537 L7831r 2010, ... Hacer reserva Agregar al carrito (remover)
	9.	VLSI micro- and nanophotonics : science, technology, and applications / editors, El-Hang Lee ... [et al.]. por Lee, El-Hang Tipo de material: Texto; Formato: impreso ; Forma literaria: No es ficción Detalles de publicación: Boca Raton, FL : CRC Press, 2010 Disponibilidad: Ítems disponibles para préstamo: Biblioteca Yachay Tech (1)Signatura topográfica: 621.395 V573 2011. Hacer reserva Agregar al carrito (remover)